P70 系列壓電掃描臺(tái)具有兩個(gè)版本，分別為二維 XY 向運(yùn)動(dòng)、一維 Z 向運(yùn)動(dòng)。兩個(gè)版本在四個(gè)角的位置都具有四個(gè)通孔，孔心距為 30mm，非常適于籠式結(jié)構(gòu)的安裝。XY 運(yùn)動(dòng)版本額外具有四個(gè)沉孔，也適于螺紋安裝固定。
型號(hào)
P70.XY20K( 放大機(jī)構(gòu)）
單位
運(yùn)動(dòng)自由度
X,Y
行程范圍
±8.5（@120V）
μm±10%
傳感器類(lèi)型
-
閉環(huán)分辨率
0.6
nm
閉環(huán)線(xiàn)性度
%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度
俯仰/偏航/滾動(dòng)
<15
μrad
承載能力
300
g
閉環(huán)響應(yīng)時(shí)間
30
ms±20%
空載諧振頻率
1.2
kHz±20%
加載諧振頻率
0.4（53g）
靜電容量
0.8/ 軸
μF±20%
重量
175
g±5%
P70.Z8K（直驅(qū)機(jī)構(gòu)）
Z
8（@150V）
<10
200
20
3.6
1.5（200g）
1.6
128.5
?
17051647888
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