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  2.三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀形狀  

   產品運動示意圖  

  閉環曲線  

  閉環傳感精度高  

   頻率負載曲線  

   仿真分析  

P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達110μm。

P51偏轉臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元分析進行優化，具有超高的剛度以及導向精度。

可選擇內置精密傳感器進行全閉環位置反饋，確保其具有的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時間為毫秒量級。

通過有限元FEA優化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術用于設計運動方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動，因為鉸鏈機構無間隙、無摩擦。

  超薄的設計適用于顯微應用且可負載大鏡片  

  產品測試  

P51壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動態高精度的掃描。

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

校準調測

震動實驗