N31系列直線壓電馬達是芯明天研發(fā)設計、生產及銷售的一款納米級精密運動產品。它具有三個行程范圍可選，分別為25mm、50mm和100mm。可選配高精度光柵增量式編碼器作為傳感器，完成高精度的運動定位。
N31系列直線壓電馬達是采用壓電陶瓷驅動，利用類似人行走的驅動原理，將壓電陶瓷的高頻微動的微小位移轉換為直線壓電馬達平臺的大行程、高精度運動。該系列直線壓電馬達具有大出力、閉環(huán)誤碰后自動歸位等優(yōu)點。
為滿足各種應用中XYZ三維大行程、高精度位置調節(jié)的需求，芯明天基于N31系列直線壓電馬達專門設計了一款三維運動的大行程、高精度直線壓電馬達。它的外觀如下圖所示。該XYZ三維直線壓電馬達是基于三臺N31系列直線壓電馬達，XYZ三軸的行程分別為50mm、50mm、100mm。該產品經過實測XYZ向的精度均在1μm以內；運動速度可達4mm/s以上。測試過程中，XYZ三維直線壓電馬達每軸的運動都是通過芯明天E71系列壓電伺服控制器進行驅動的，并通過配套上位機軟件進行控制參數(shù)設置。
XYZ三維直線壓電馬達平臺測試中下述測試結果是在0.5kg負載、20.8℃溫度、31%濕度下測得。
從上方參數(shù)中可看到，X、Y、Z向的運動重復度分別可達0.645μm、0.611μm、0.681μm，可滿足高精度的定位要求。運動效果如下方視頻展示。
注：1倍速播放
N31系列一至三維直線壓電馬達，因其高精度，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業(yè)精密定位等領域。
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