芯明天壓電偏擺臺的優勢與選型
芯明天軟件控制壓電控制器是指通過上位機軟件控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調，具有操作方便、數據精準、軟件支持二次開發等優點。用于驅動控制壓電納米定位產品，如壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、壓電偏轉鏡、壓電偏擺臺等。
激光束偏轉及其掃描在半導體加工、軍事探測、航空航天、生物醫學、納米科學研究等領域得到了越來越多的應用，同時對其性能要求也越來越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度，掃描分辨率等諸多因素的制約。通過我公司壓電快速偏擺臺可**的解決以上問題。
基于壓電陶瓷驅動器的快速偏擺臺具有很高的諧振頻率，掃描角度小、分辨率高、線性度好，一般應用于自適應光學、光束跟蹤和穩定等需要快速響應和小角度偏轉的領域。
壓電偏擺臺具有更快的加速度和更高的帶寬，具有零摩擦和零粘力的鉸鏈導向，并且導向精確性優良，采用傳感器的閉環系統，具有很高的精確度。
壓電偏擺臺采用壓電陶瓷驅動器直接驅動，多用于圖象處理/穩定、激光掃描、通信、光線偏轉、光束偏轉/穩定等系統。
哈爾濱芯明天科技有限公司提供的壓電陶瓷偏擺臺具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無噪聲、不發熱等特點。且已經過多家科研院所測試，驗證了壓電偏轉臺分辯率高，重復定位精度高，在要求偏轉角度為mrad量級、分辨率要求μrad量級的激光掃描系統中表現出很好的特性。
壓電偏擺臺型號選擇請參考下表
型號 | 軸 | 角度范圍 | 分辨率 |
S50.U0C/K | θx | 0.19mrad（≈39秒） | - |
S50.U0C/K-D1 | θx | 0.5mrad（≈100秒） | 0.01μrad（＜0.01秒） |
S50.UR1S/K | θx、θz | 1.3mrad（≈268秒）/軸 | 0.03μrad（＜0.01秒） |
S51.ZT1S/K | θx、θy、Z | ±1.1mrad（≈±220 秒）/軸 100μm | 0.05μrad（≈0.01 秒） 4nm |
S51.ZT1S/K-C1 | θx、θy、Z | ±1.1mrad（≈±220秒）/軸 110mrad | 0.05μrad（≈0.01 秒） 4nm |
S54 | θx、θy | ±1mrad（≈±200秒）/軸 | 0.05μrad（≈0.01秒） |
