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真空版本XYZ65N81K26是一款采用壓電螺釘驅動的XYZ三維運動平臺，可實現毫米級大行程位置調整，行程可達25.4mm/軸，同時可實現納米級位移增量，廣泛應用于精密定位及半導體測試等領域。同時適用于真空應用環境要求，真空度可達10^-5Pa。

平臺采用真空版本壓電螺釘驅動，全行程內具有超過20nm的分辨率，額定負載30N，設計結構緊湊，具有出色的長期穩定性且能在斷電情況下繼續保持在設定位置。

特點

• XYZ向運動

• 行程可達25.4mm/軸

• 分辨率達0.5μm

• 真空度打10^-5Pa

• 可定制閉環版本

應用

• 平版印刷

• 納米壓印/納米計量學

• 半導體技術/半導體測試

• 在強磁場和真空中運動

1~3維運動平臺

該系列真空版本運動平臺，可實現X、XY、XYZ等多軸運動，均可實現25.4mm的精密位移調整。

技術參數

型號：XYZ65N81K26

運動自由度：XYZ

行程范圍：25.4mm/軸

最小位移增量：<30nm

分辨率：0.5μm

中心負載：50N

軸承：滾珠

材料：鋁

工作溫度：10~40℃

端口：4-Pin

出線長：2m

推薦控制器

該系列平臺可由驅動器E53.C4K通過USB接口進行4軸開環控制。