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P60系列Z向真空壓電納米定位臺

更新時間: 2021-07-12

P60.Z250為一維Z向運動壓電納米定位臺,平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化的結構設計。機構放大式驅動原理,內置高性能壓電陶瓷,可實現Z向250μm位移。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩定性可達納米量級,定位穩定時間為毫秒量級。平臺可選真空兼容版本,平臺中的部件均適合于真空應用,真空度可達1×10^(-5)mbar。

閉環版本定位精度高

P60.Z250可以選擇開環或閉環版本,閉環版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋,配置芯明天閉環壓電控制器可實時對位移進行精密調整,實現納米級的精密定位控制及優異線性運動和穩定性。

 

產品特點

• 一維Z向運動

• 行程可達250μm

• 承載可達1kg

• 可選真空兼容版本

 

應用

• 計量/干涉/ 掃描

• 納米定位

• 光盤驅動測試

• 半導體技術

• 質量保證測試

• 微加工/精密控制

 

技術參數

型號P60.Z250

運動自由度Z

標稱行程范圍(0~120V)200μm

行程范圍(0~150V)250μm

傳感器類型SGS

/開環分辨率10/3nm

閉環線性度0.4%F.S.

重復定位精度0.1%F.S.

空載諧振頻率260Hz

承載能力1kg

靜電容量21.6μF

工作溫度范圍-20~80℃

材質鋼、鋁

重量(不含線) 0.4kg

真空度1×10^(-5)mbar

外形尺寸(長×寬×高)80×60×20mm

出線長1.5m

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