壓電陶瓷驅動電源傳感控制模塊參數表
E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動工作臺等納米定位機構中的傳感器提供高精準、 高穩定性和高可靠性的激勵信號，并檢測和處理 PZT或微動工作臺等納米定位機構中的傳感器信 號，并將該傳感器信號通過內部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個獨立的設 備，需集成在E00/E01機箱內工作。
| 型號 | E09.S1 | E09.S3 | E09.L1 | E09.L3 | E09.C1 |
| 功能 | PZT 傳感控制模塊 | ||||
| 通道數 | 1 | 3 | 1 | 3 | 1 |
| 傳感器類型 | SGS | SGS |
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| CAP |
| 伺服特性 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 |
| 傳感器接口 | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.116.CLL |
| 傳感器輸出接口 | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC |
| 電壓輸出范圍（V） | 0 至 10 | ||||
| 工作溫度范圍（℃） | 0 至 50 | ||||
