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壓電掃描臺(tái)|P15系列|新品發(fā)布

更新時(shí)間: 2018-11-05

P15壓電掃描臺(tái)是快速、高精度的軸掃描和納米定位臺(tái),具有非常高的直線度。中心通孔直徑48mm,非常適于透射光應(yīng)用,如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。

 

特點(diǎn):

行程范圍為370 x 370 x270μm;

可選配應(yīng)變式閉環(huán)傳感器;

無摩擦、高精度撓性導(dǎo)向系統(tǒng);

掃描平整度高;

48 mm。

 

應(yīng)用:掃描顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉、度量衡學(xué)、生物技術(shù)、微操作等。

 

P15壓電掃描臺(tái)XY方向的運(yùn)動(dòng)行程為370μm,Z向的運(yùn)動(dòng)行程為270μm它的內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割鉸鏈結(jié)構(gòu)。 FEA使設(shè)計(jì)具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動(dòng)小化。

 

P15壓電掃描臺(tái)可選配閉環(huán)反饋傳感器,可提供更高的定位精度,非常適合高精度定位應(yīng)用。

 

閉環(huán)上升曲線

與常規(guī)的閉環(huán)壓電掃描臺(tái)相比,P15系列在外觀上略有不同,它的臺(tái)體上具有兩個(gè)出線孔,分別為PZT供電引線及閉環(huán)信號(hào)反饋引線。并且,P15系列壓電掃描臺(tái)的移動(dòng)面,較臺(tái)體平面高出一部分,更易辨別。

 

P15壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)P15.XYZ300S

XY標(biāo)稱行程范圍370(±185)µm/軸

Z標(biāo)稱行程范圍270µm

傳感器類型SGS

閉/開環(huán)分辨率8/5nm

閉環(huán)線性度0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.15%F.S.

運(yùn)動(dòng)方向剛度X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm

空載諧振頻率X120/Y150/Z250 Hz

大承載0.5Kg

XY靜電容量21μF

Z靜電容量7.2μF

材質(zhì)

重量900g

 

應(yīng)用案例

納米光刻

首先計(jì)算機(jī)將BMP圖轉(zhuǎn)化為灰度圖,然后再通過控制系統(tǒng)控制壓電掃描臺(tái),帶動(dòng)鍍膜鏡片在0-300μm范圍內(nèi)對(duì)讀取的圖像信息進(jìn)行優(yōu)化,同時(shí)控制激光器及掃描臺(tái),二者配合完成BMP圖的納米定位加工。

 

AFM原子力顯微鏡

閉環(huán)納米定位掃描臺(tái)作為原子力顯微鏡的一部分,可帶動(dòng)樣品進(jìn)行高速精密運(yùn)動(dòng),可以實(shí)現(xiàn)X、Y、Z軸280μm的掃描,分辨率為亞納米級(jí),響應(yīng)時(shí)間可達(dá)亞毫秒。

 

干涉

壓電掃描臺(tái)的Z向的納米級(jí)的微運(yùn)動(dòng),調(diào)整待測物的位置,從而改變對(duì)應(yīng)的干涉條紋的寬度及位置,以達(dá)到更的表面測量。

 

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